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產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心清洗系列等離子清洗機PCE-500W 500W等離子刻蝕清洗機

PCE-500W 500W等離子刻蝕清洗機
產(chǎn)品簡介:

PCE-500W 500W等離子刻蝕清洗機是一款較大型的500W等離子刻蝕清洗機,等離子腔體為 8.5 “dia x 14.4“L的石英腔體,采用的射頻電源頻率為13.56MH,功率0 -500W連續(xù)可調(diào)節(jié)。此款設(shè)備功率高,可用于等離子刻蝕、等離子灰化、表面改性以及材料摻雜改性等應(yīng)用,對于基片的清洗以及薄膜處理此款設(shè)備是較為理想的實驗幫手。

產(chǎn)品型號:

更新時間:2025-02-17

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

訪問量:1662

服務(wù)熱線

0755-26959531

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產(chǎn)品介紹

PCE-500W 500W等離子刻蝕清洗機是一款較大型的500W等離子刻蝕清洗機,等離子腔體為 8.5 "dia x 14.4"L的石英腔體,采用的射頻電源頻率為13.56MH,功率0 -500W連續(xù)可調(diào)節(jié)。此款設(shè)備功率高,可用于等離子刻蝕、等離子灰化、表面改性以及材料摻雜改性等應(yīng)用,對于基片的清洗以及薄膜處理此款設(shè)備是較為理想的實驗幫手。

 性能指標(biāo)和基本配置
主要參數(shù)

● 射頻功率:0-500W
● 總功率:1.5KW
● 電源:AC220V 50/60Hz

射頻電源

● 射頻功率可在0-500W之間調(diào)節(jié)
● 頻率:13.56MHz
● 注:可與本公司工作人員聯(lián)系選購1KW高功率等離子刻蝕清洗機

等離子腔體

● 8.5" O.D x 8.2" I.D x 14.4" L 高純石英腔體
● 鋁制折疊式法蘭來進行真空密封
● 法蘭上有一個直徑為60mm的觀察窗口
● 此設(shè)備完、全屏蔽射頻輻射,零射頻泄漏

控制面板

● 通過6" 彩色觸摸屏,可控制射頻功率、真空泵的開啟、清洗時間和氣體流量等
● 儀器內(nèi)部安裝有一0 - 100ml/minute質(zhì)量流量計,可精確地控制進氣流量

真空泵(選配)

● 儀器必須使用抽氣速率大于4L/S的真空泵
● 極限真空度為80mTorr(參考值,具體請點擊)
1

通入氣體

● 等離子腔體中可以通入多種氣體來產(chǎn)生等離子,如N2, Ar, Air,H2、O2和混合氣體等等(根據(jù)材料性質(zhì)所定)
● 不能使用易、燃、氣、體及腐蝕性氣體。

可選

● 可選購 2" - 6" 石英舟來盛放基片
● 可選購2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)
1 1

產(chǎn)品尺寸

600mm L×600mm W×810mm H
1

相關(guān)應(yīng)用

● 請自行根據(jù)您的應(yīng)用測試最佳的等離子功率
● 對于等離子清洗,根據(jù)工藝,通常保持射頻功率在10 -100W之間
● 對于等離子刻蝕,根據(jù)工藝,通常保持射頻功率在300-500W之間

質(zhì)量認(rèn)證

CE認(rèn)證

保修期一年保修,終身技術(shù)支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
點擊查看售后服務(wù)承諾書。

PCE-500W 500W等離子刻蝕清洗機

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