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當前位置:首頁產(chǎn)品中心薄膜制備設(shè)備等離子鍍膜設(shè)備VTC-1RF1 英寸小型磁控射頻濺射鍍膜儀

1 英寸小型磁控射頻濺射鍍膜儀
產(chǎn)品簡介:

VTC-1RF是一款小型臺式單靶等離子濺射儀(射頻磁控型),配有1英寸的磁控等離子濺射頭和射頻(RF)等離子電源,此款設(shè)備主要用于制作非導(dǎo)電薄膜,特別是一些氧化物薄膜。對于新型非導(dǎo)電薄膜的探索,它是一款廉價并且高效的實驗幫手。
VTC-1RF 1 英寸小型磁控射頻濺射鍍膜儀

產(chǎn)品型號:VTC-1RF

更新時間:2025-02-17

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

訪問量:1696

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0755-26959531

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VTC-1RF 1 英寸小型磁控射頻濺射鍍膜儀是一款小型臺式單靶等離子濺射儀(射頻磁控型),

配有1英寸的磁控等離子濺射頭和射頻(RF)等離子電源,此款設(shè)備主要用于制作非導(dǎo)電薄膜,

特別是一些氧化物薄膜。對于新型非導(dǎo)電薄膜的探索,它是一款廉價并且高效的實驗幫手。

我們用此設(shè)備得到擇優(yōu)取向的ZnO薄膜

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性能指標和基本配置
輸入電源● 220VAC 50/60Hz, 單相
● 800W (包括真空泵)
等離子源● 配有一13.5MHz,100W的射頻電源(采用手動匹配)
● 可選配300W射頻電源(自動匹配)
● 注意:100W手動調(diào)節(jié)的RF(射頻)電源價格較低,但是每一次對于不同的靶材,都需要手動設(shè)置參數(shù)才能產(chǎn)生等離子體,比較耗費時間。300W自動匹配的RF(射頻)電源,價格較昂貴,但比較節(jié)約時間。(點擊圖片查看詳細資料)
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磁控濺射頭● 一個1英寸磁控濺射頭(帶有水冷夾層),采用快速接頭與真空腔體相連接
● 靶材尺寸: 直徑為25.4mm,最大厚度3mm
● 一個快速擋板安裝在法蘭上
● 濺射頭所需冷卻水:流速10L/min(儀器中配有一臺流速為16L/min的循環(huán)水冷機)
● 同時可選配2英寸濺射頭
● 選配2英寸濺射頭靶材尺寸:直徑為50.8mm,最大厚度6mm
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真空腔體● 真空腔體:160 mm OD x 150 mm ID x 250mm H,采用高純石英制作
● 密封法蘭:直徑為165 mm . 采用金屬鋁制作,采用硅膠密封圈密封
● 一個不銹鋼網(wǎng)罩住整個石英腔體,以屏蔽等離子體
● 真空度:<1.0×10-2 Torr (采用雙極旋片真空泵)

<5×10-5 torr (采渦旋分子泵)


載樣臺● 載樣臺可旋轉(zhuǎn)(為了制膜更加均勻)并可加熱
● 載樣臺尺寸:直徑50mm (最大可放置2英寸的基片)
● 旋轉(zhuǎn)速度:1 - 20 rpm
● 樣品臺的最高加熱溫度為700℃(短期使用,恒溫不超過1小時),長期使用溫度500℃
● 控溫精度+/- 10℃
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真空泵● 我公司有多種真空泵可選,請點擊圖片,或是致電我公司銷售
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薄膜測厚儀● 一個精密的石英振動薄膜測厚儀安裝在儀器上,可實時監(jiān)測薄膜的厚度,分辨率為0.10 ?
● LED顯示屏顯示,同時也輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)
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質(zhì)保和質(zhì)量認證● 一年質(zhì)保期,終生維護
● CE認證
外形尺寸image.png
使用注意事項● 這款1英寸的射頻濺射鍍膜儀主要是用于在單晶基片上制備氧化物膜,所以并不需要太高的真空度
● 為了較好地排出真空腔體中的氧氣,建議用5%H2+95 %N2對真空腔體清洗2-3次,可有效減少真空腔體中的氧含量
● 請用純度大于5N的Ar來進行等離子濺射,甚至5N的Ar中也含有10- 100 ppm的氧和水,所以建議將鋼瓶中的惰性氣體通過凈化系統(tǒng)過后,再導(dǎo)入到真空腔體內(nèi)
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VTC-1RF 1 英寸小型磁控射頻濺射鍍膜儀

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