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產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心切割研磨拋光設(shè)備拋光機UNIPOL-1203化學(xué)機械磨拋機

UNIPOL-1203化學(xué)機械磨拋機
產(chǎn)品簡介:

UNIPOL-1203化學(xué)機械磨拋機,適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術(shù), 整機研磨部分采用防腐材料,耐化學(xué)腐蝕,配置自動滴料器和精密磨拋控制儀,全自動觸摸屏面板,從加工性能和速度上同時滿足晶圓等面型加工的需求。

產(chǎn)品型號:

更新時間:2025-02-17

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

訪問量:2375

服務(wù)熱線

0755-26959531

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產(chǎn)品介紹

UNIPOL-1203 化學(xué)機械磨拋機,適用于CMP 平坦化和平滑化工藝技術(shù), 整機研磨部分采用防腐材料,

耐化學(xué)腐蝕,配置自動滴料器和精密磨拋控制儀,全自動觸摸屏面板,從加工性能和速度上同時滿足晶圓等面

型加工的需求。

 性能指標(biāo)和基本配置
產(chǎn)品名稱UNIPOL-1203 化學(xué)機械磨拋機
安裝條件本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下,溫度 25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh 下使用。
1、水:設(shè)備配有上水口及下水口,需自行連接自來水及下排水
2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地
3、氣:無
4、工作臺:尺寸 800mm×600mm×700mm,承重200kg 以上
5、通風(fēng)裝置:不需要
主要特點1、超平不銹鋼拋光盤(平面度為每 25mm×25mm 小于 0.0025mm)。
2、超精旋轉(zhuǎn)軸(托盤端跳小于 0.01mm)。
3、設(shè)有兩個加工工位,可分別進行控制。
4、配有全自動控制觸摸屏面板,可設(shè)置主軸轉(zhuǎn)速、擺臂速度、磨拋時間。
5、配置自動滴料器,流量速率可視化調(diào)整,自動研磨和拋光。
6、配置 GPC-100A 精密磨拋控制儀,可調(diào)節(jié)壓力,修整面型,使磨拋更加方便快捷。
7、研磨部分采用防腐材料,耐化學(xué)腐蝕。
技術(shù)參數(shù)主機部分

1、電源:220V

2、功率:450W

3、磨拋盤轉(zhuǎn)速:10-240rpm

4、磨拋工位:2 個

5、擺臂調(diào)節(jié)檔位:1-15 檔

6、托盤端跳:0.008/250mm

7、不銹鋼磨拋盤:φ300mm

8、載樣盤:φ105mm

9、修盤環(huán):φ127.5mm


GPC-100A 精密磨拋控制儀

1、載樣盤直徑:?103mm

2、載樣盤軸向行程:12mm

3、數(shù)顯表精度:0.001mm

4、載樣盤可調(diào)加載壓力:0.1kg-2.1kg

5、壓力確認(rèn)儀有效量程:1g-5000g

6、樣品裝卡方式:真空吸附

7、承載樣件尺寸:直徑≤ 103mm、厚度≤12mm

8、尺寸:外徑 146mm,高266mm


自動滴料器

SKZD-2 滾筒滴料器

1、容積:1.5L

2、流量:0-35ml/min

3、尺寸:170×290×350mm;重量:3kg

SKZD-4 自動滴料器

1、加液泵:4 個

2、料液瓶:600ml/瓶

3、計時范圍:1-999min

4、流量:0.1ml/min-10ml/min

5、尺寸:230×370×450mm;重量:10kg



產(chǎn)品規(guī)格1、外形尺寸:550mm×700mm×420mm
2、重量:74Kg
標(biāo)準(zhǔn)配件1
鑄鐵研磨盤
1個
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2不銹鋼拋光盤
1個
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3載物盤
1個
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4修盤環(huán)
1個
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5SKZD-2 滴料器
1個
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6SKZD-4 自動滴料器
1個
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7GPC-100A 精密磨拋控制儀
1個
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8拋光墊(磨砂革、合成革、聚氨酯)
各1片
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9剛玉研磨微粉
0.5kg
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10石蠟棒
4個
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可選配件1、YJXZ-12 攪拌循環(huán)泵
2、精密測厚儀
3、陶瓷研磨盤
4、玻璃研磨盤
5、磁性樹脂金剛石研磨片

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