无码另类,伊人成综成人综合,久久伊人青草一区二区,高潮久久国产精品

18126374197
PRODUCT CENTER

產(chǎn)品中心

當前位置:首頁產(chǎn)品中心鈣鈦礦太陽能電池制備MSK-PSE-ALD1010原子層沉積系統(tǒng)

原子層沉積系統(tǒng)
產(chǎn)品簡介:

原子層沉積系統(tǒng)


深圳市科晶智達科技有限公司2001年成立于深圳,是一家聚焦服務于高校、研究院所、企業(yè)研發(fā)部門的國家技術(shù)企業(yè),長期致力于打造安全、高效、智能的實驗研發(fā)一站式服務平臺,為科學研究與產(chǎn)業(yè)孵化賦能。
深圳科晶與美國MTI、合肥科晶、沈陽科晶同屬MTI-科晶聯(lián)盟,目前已經(jīng)搭建輻射的服務網(wǎng)絡,精心為科學家們的實驗室提供交鑰匙工程解決方案。

產(chǎn)品型號:MSK-PSE-ALD1010

更新時間:2025-02-18

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

訪問量:587

服務熱線

0755-26959531

立即咨詢
產(chǎn)品介紹

MSK-PSE-ALD1010原子層沉積系統(tǒng)


 功能特點


  • 外熱式反應腔體,加熱結(jié)構(gòu)在真空室外,反應腔室維護保養(yǎng)無需拆卸腔室加熱器或樣品臺加熱器;

  • 配有可拆卸片托,支持100mm*100mm方片及以下尺寸的樣品;

  • 3路前驅(qū)體源系統(tǒng)(包括2路金屬源和1路水源);

  • 高性能真空系統(tǒng)和殘余前驅(qū)體源處理熱阱;

  • 自動控制沉積系統(tǒng)和工藝壓力實時檢測顯示;

  • 可置于手套箱底部與手套箱對接;

  • 可視化的操作界面,實時顯示系統(tǒng)各部分運行狀態(tài),可方便的調(diào)節(jié)溫度、流量、脈沖時間等參數(shù),編輯并保存配方參數(shù);

  • 多用戶權(quán)限分配,軟硬件互鎖,異常報警、緊急停機等功能確保安全性;

  • 沉積模式可設為連續(xù)模式或停流模式;

  • 外置移動支架顯示器操作。


MSK-PSE-ALD1010原子層沉積系統(tǒng)

  技術(shù)參數(shù)
電源三相五線制AC380V±10%,頻率50Hz/60Hz,功率約12KW
反應腔體腔室外熱式單腔腔室
樣品尺寸最大100mm*100mm方片及以下尺寸
反應溫度最高150℃
前驅(qū)體源系統(tǒng)金屬源2路標準加熱前驅(qū)體源
配置Swagelok高溫快速ALD閥(響應時間<10ms)、手動隔膜閥和50mL不銹鋼源瓶
源瓶及管路加熱溫度室溫至200℃
水源1路水源
配置Swagelok高溫快速ALD閥(響應時間<10ms)、手動球閥和50mL不銹鋼源瓶
載氣系統(tǒng)2路載氣系統(tǒng)
全套管路+VCR密封,前驅(qū)體源管路具有在線清洗功能
真空系統(tǒng)極限真空小于5×10-3Torr
真空漏率小于5×10-7Pa·L/s
真空泵抽速40m3/h
其他配置真空泵前級配置熱阱,加熱溫度最高600℃,控制精度±1℃,用于吸附、分解未反應的前驅(qū)體源
真空計真空計前設有保護真空計的高效過濾網(wǎng),沉積過程中可以實時監(jiān)測顯示腔室壓力的變化
主機PLC+4U工控機+顯示器


在線留言

ONLINE MESSAGE

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結(jié)果(填寫阿拉伯數(shù)字),如:三加四=7
聯(lián)系方式

0755-26959531

(全國服務熱線)

深圳市龍崗區(qū)寶龍街道南約社區(qū)寶龍一路華豐龍崗留學生產(chǎn)業(yè)園5棟

sales05@szkejing.com

關(guān)注我們

Copyright © 2025深圳市科晶智達科技有限公司 All Rights Reserved   工信部備案號:

技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng)   管理登錄   sitemap.xml

關(guān)注

聯(lián)系
聯(lián)系
頂部
超碰国产人人操人人爽| 女人被狂躁到高潮视频免费网站| 亚洲五月小说| 就去射中文网| 亚洲国产香蕉视频欧美| 人人澡人人干| 四虎在线视频播放网站| 日韩无码手机视频| 尤物久久久久久久久久| 欧美亚洲黄片免费| 精品日韩免费在线| 无码国产成人午夜电影在99| 精品久久一区二区三区av| 亚洲天堂一二| 黄片一区二区免费| 高清无码英文日韩| 黄片久久| 传媒国产在线| 99精品国产一区二区青青性色| 台湾无码av一区二区三区| 国产一区在线欧美| 国产精彩视频不卡一区| 国产对白刺激在线观看| 欧美9999| 天堂√无码| 亚洲乱码日产精品M| 亚洲高潮精品嫩草影院久久在线观看| 色婷婷狠18| 熟女欧美一区二区三区| 中文av不卡在线观看| 污网站在线在线观看| 久久人与动人物AV| 久久久一本精品99久久精品66| 国产又粗又猛又大又黄的视频 | 久久久精品2019中文字幕超碰| 凹凸久精品| 开心成人色播| 中文字幕AV无码一二三区电影| 欧美亚洲国产精品有字幕| 欧美一区二区三区视频在线观看 | 开心色五月婷婷|